GEMU C53 iComLine
- Подробно
- Характеристики
2/2-ходовой мембранный седельный клапан GEMU C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PD-технологии GEMU, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика GEMU C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.
Характеристики
- Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
- Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
- Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
- Испытанная технология Plug Diaphragm
- Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
- 1 млн. аттестованных циклов переключений
- Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
- Температура окружающей среды до 40 °C
- Температура среды 10 до 150 °C
- Рабочее давление до 6 бар
- Материалы корпуса PFA | PTFE
- Напряжение электропитания 24 В=
- Скорость позиционирования макс. 2 мм/с
- Класс защиты IP65
- Формы корпуса Проходной корпус
- Виды соединений PrimeLock® | Super 300 Type Pillar® | Соединение типа Flare
- Размеры соединений 1/4'' до 3/4''
- Материал уплотнения PTFE
- Входные сигналы –10 В | 4–20 мA